电子气体主要应用于集成电路制造的高纯、超高纯特种气体,一般具有高毒性。()A. 对B. 错

电子气体在集成电路制造中用于提供高纯度和超高纯度的特种气体，这些气体主要用于半导体制造过程中的各种工艺，如沉积、蚀刻和掺杂等。虽然某些电子气体可能具有毒性，但并不是所有电子气体都具有高毒性。因此，该陈述并不完全准确。